lcd光刻 线宽多少nm，光刻机纳米 什么意思是光的波长还是产品线条宽度
光刻机纳米什么意思是光的波长还是产品线条宽度光刻纳米机中的”纳米“指的是产品线条宽度（工艺尺寸）。即光刻机加工的芯片线路尺寸可以达到纳米量级，即10^(-19)m，如CPU中的5nm工艺、7nm工艺和14nm工艺。而光的频率一般在几百纳米，如可见光的波长范围一般在400nm~700nm。2，佳能光刻机多少纳米从工艺节点的角度来看，佳能已经量产的最精细的KrF光刻机使用的波长是248纳米，它对应到的最小极限线宽是90nm。牧野晶表示：“虽然当前有些先进制程的工艺节点已经发展到14nm及以下，但半导体的工...
更新时间：2024-03-27标签： lcdlcd光刻线宽多少nm光刻机纳米什么意思是光的波长还是产品线条宽度 全文阅读